
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,含氟廢水處理是關(guān)鍵環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)化學(xué)沉淀法雖應(yīng)用廣泛,但存在泥渣沉降慢、出水氟化物濃度難達(dá)標(biāo)等問題。為尋求更優(yōu)解,多種方法不斷涌現(xiàn)。半導(dǎo)體廢水中的氟化物處理是行業(yè)難題,傳統(tǒng)方法如化學(xué)沉淀法和吸附法存在污泥量大、成本高、再生難等問題。結(jié)合最新技術(shù)進(jìn)展,以下為優(yōu)化處理方案的關(guān)鍵方向:

離子交換法利用陰離子交換樹脂除氟,樹脂在中性至堿性范圍高效工作,去除氟離子能力達(dá)1ppm以下,且易再生。吸附法中,羥基磷灰石、活性氧化鎂等新型吸附劑提升處理效果,但再生次數(shù)有限。膜分離技術(shù)效率高、環(huán)保、能耗低,能高效分離溶質(zhì)和溶劑。新型“丸粒結(jié)晶除氟”技術(shù)表現(xiàn)出色,將氟離子結(jié)晶化處理,避免產(chǎn)生含氟污泥,還能產(chǎn)出氟粒作為工業(yè)原料,實現(xiàn)變廢為寶,處理效果優(yōu)于國家標(biāo)準(zhǔn)一個數(shù)量級。
半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)結(jié)合自身廢水特點,綜合考量處理效果、成本等因素,選擇合適的除氟技術(shù),或采用多種技術(shù)組合,以實現(xiàn)更高效、環(huán)保的廢水處理,推動行業(yè)可持續(xù)發(fā)展。半導(dǎo)體廢水除氟需突破單一技術(shù)局限,通過工藝創(chuàng)新與系統(tǒng)集成實現(xiàn)環(huán)境效益與資源循環(huán)的雙重提升。
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