
在新能源、鋰電池、半導(dǎo)體、新型農(nóng)藥等產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展中,氟化工扮演著至關(guān)重要的角色。然而,氟化工生產(chǎn)過程不可避免地會(huì)產(chǎn)生含氟量較高的廢水。過高的氟含量一旦進(jìn)入水系,將對(duì)周邊生態(tài)環(huán)境和人類健康造成嚴(yán)重威脅,引發(fā)人、畜中毒等危害。因此,在廢水排放前進(jìn)行特殊處理以降低氟含量,成為氟化工及相關(guān)產(chǎn)業(yè)必須直面的關(guān)鍵問題。
目前,吸附、離子交換或反滲透等技術(shù)已在飲用水中去除微量氟化物方面取得一定成果。然而,面對(duì)工業(yè)廢水,這些技術(shù)卻顯得力不從心。工業(yè)廢水中的氟化物濃度更高,水質(zhì)環(huán)境更為復(fù)雜,含有多種干擾物質(zhì),使得傳統(tǒng)技術(shù)的處理效果大打折扣,無法直接應(yīng)用于工業(yè)廢水治理。因此,深入研究反應(yīng)機(jī)理、精心設(shè)計(jì)工藝組合、開展系統(tǒng)試驗(yàn)以及加強(qiáng)水質(zhì)監(jiān)測,成為提高工業(yè)廢水氟化物去除效率的關(guān)鍵。
氫氟酸作為氟化工的重要原料,在太陽能電池、金屬電鍍以及微電子工業(yè)的半導(dǎo)體蝕刻等環(huán)節(jié)得到廣泛應(yīng)用。半導(dǎo)體在氫氟酸蝕刻過程中產(chǎn)生的大量氟化物廢水,其氟化物濃度范圍通常在100ppm到10000ppm之間。不同排放場景對(duì)氟化物濃度有著嚴(yán)格的限制,若廢水排入污水管網(wǎng),排放限值需低于20ppm;排入河流水體時(shí),限值則小于5ppm,部分轄區(qū)甚至要求低于2ppm。

針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)氟化物廢水處理難題,一種創(chuàng)新的解決方案應(yīng)運(yùn)而生。該方案將智能化混凝沉淀與陶瓷超濾系統(tǒng)相結(jié)合,對(duì)傳統(tǒng)化學(xué)沉淀工藝進(jìn)行改進(jìn)。在智能化混凝沉淀環(huán)節(jié),借助智能控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)精確加藥。這一創(chuàng)新點(diǎn)有效避免了傳統(tǒng)加藥方式中石灰和氯化鈣加料不足或過量的問題,確保了化學(xué)反應(yīng)的高效進(jìn)行,提高了氟化物的去除效率。
經(jīng)過混凝處理后的液體,通過陶瓷膜進(jìn)行過濾。陶瓷膜能夠高效地過濾掉CaF?和Al(OH)?等細(xì)顆粒,使流出液成為干凈的澄清液。這種澄清液不僅可直接排放,滿足嚴(yán)格的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn),還能重新用于半導(dǎo)體的氫氟酸蝕刻清洗,實(shí)現(xiàn)了水資源的循環(huán)利用。
與傳統(tǒng)的處理方法相比,該新型方案無需大型澄清/沉淀池和筒式過濾設(shè)備,大大減少了占地面積。同時(shí),簡化的工藝流程降低了維護(hù)和運(yùn)營成本,為半導(dǎo)體行業(yè)提供了一種成本優(yōu)化的氟化物去除解決方案,在保障環(huán)境安全的同時(shí),也為企業(yè)帶來了顯著的經(jīng)濟(jì)效益。隨著環(huán)保要求的不斷提高和技術(shù)的持續(xù)進(jìn)步,氟化工廢水除氟領(lǐng)域?qū)⒉粩嘤楷F(xiàn)出更多創(chuàng)新解決方案,為相關(guān)產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供有力支持。
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